SEMI, 300mm 웨이퍼 기술 표준안 마련 서둘러

국제반도체제조장비재료협회(SEMI)가 3백㎜ 웨이퍼 기술표준안 마련을 서두르고 있다.

일본 「日經마이크로디바이스」에 따르면 SEMI는 지난 3일 3백㎜ 웨이퍼 기술 확립을 주요 골자로 하는 5개항의 활동계획을 발표했다.

SEMI가 발표한 향후 계획은 △3백㎜ 웨이퍼를 둘러싼 표준화 방안의 작성과 사용 촉진책 마련 △3백㎜ 웨이퍼 관련 국가별 자문기관 신설 △플랫 패널 디스플레이 분야의 전시회, 세미나, 표준화 활동의 국제행사 개최 △대만 등 급성장 지역에서 세미나, 교육활동 강화 △반도체, 플랫 패널 디스플레이 분야 제조장치, 재료업계의 인지도 향상 등이다. SEMI는 이 가운데 특히 3백㎜웨이퍼 표준화 항목과 관련해서는 일본반도체기술연합회 산하 표준화 기구인 「J300」과 인터내셔널 3백㎜ 이니시어티브(I300I)가 합의한 국제 가이드라인을 표준안으로 채택하는 작업을 급속히 추진키로 했다.

<심규호 기자>