선익, 日産 중전류 이온주입기 공급

반도체장비 업체인 선익(대표 손명호)이 일본 니신덴키社의 중전류 이온주입기 「EXCEED 2000」을 국내에 공급한다.

2백56MD램 이상의 고집적 반도체 제조에 대응한 이 장비는 이온 주입에 따른 최대 전류량이 붕소(B) 불순물을 기준으로 2.0mA에 달하며 1회 이온 주입 시간을 10초로 할 때 시간당 2백장까지의 웨이퍼를 처리할 수 있는 초고속 제품이다.

1백50 및 2백㎜ 웨이퍼용으로 출시된 이 제품은 향후 3백㎜ 웨이퍼에도 간단한 핸들러장치의 조작만으로도 쉽게 대응할 수 있도록 설계된 것이 특징이라고 선익측은 밝혔다.

<주상돈 기자>