알텍, 반도체 플라즈마 식각 공정용 EPD시스템 국산화

레이저 광학 및 계측기 전문업체인 알텍(대표 차동호)은 반도체용 에처의 플라즈마 식각공정을 제어하는 EPD(End Point Detector)시스템을 국내 첫 개발했다고 20일 밝혔다.

이 회사가 개발한 EPD시스템은 반도체 제조의 플라즈마 식각(에칭)과정에서 식각물질의 고유파장을 선택적으로 감지함으로써 발광강도 및 공정시간 등을 측정, 식각공정의 완료시점(End Point)을 확인해 주는 모듈 제품으로 레이저 광학, 전자, 컴퓨터 관련 기술이 종합적으로 적용됐다.

차세대 에칭장비에 필수적으로 부착되는 이 시스템은 플라즈마 광 도입부, 모노크로매트 분석부 등 6개의 하드웨어 부분과 입출력 데이터 수집 및 검사 기준 제시 등의 3개 소프트웨어 영역으로 구성되며 대당 1만달러 이상인 고가 제품이다.

특히 이번에 개발한 장비는 기존 외산 제품이 1개 모듈로 1개 체임버만을 계측할 수 있는 데 반해 최대 2개 체임버를 동시 측정할 수 있으며 입력 데이터 수집 기능 및 펜티엄급 이상의 호스트 제어기 사양을 갖추고 있는 등 제품 성능면에서도 외산보다 우수하다고 회사측은 주장했다.

알텍은 국내 H社 반도체 국산화 추진팀과 공동으로 이 제품의 성능시험에 착수하는 한편 플라즈마 광원 수집 기능 등 관련 기술의 특허출원도 준비중이다. 또한 중소기업청 주관의 기술혁신개발사업비를 지원받아 최대 4개 체임버를 동시 계측할 수 있는 차세대 EPD시스템의 개발에도 착수하는 등 현재 전량 수입에 의존하고 있는 EPD시스템의 국산 대체는 물론 대만, 미국 등 해외 반도체업체로의 수출도 적극 추진할 방침이다.