[화요특집] TFT LCD 주요 장비업체 제품-한국디엔에스

감광액 도포장치

한국디엔에스(대표 김광교)는 2세대와 3세대 규격의 감광액 도포장치와 알루미늄 에칭장비를 국산화한 데 이어 국내업체들과 공급계약을 체결하는 등 장비 국산화의 기수로 떠오르고 있다.

한국DNS는 박막제조장비의 하나인 3백70×4백70㎜ 규격의 감광액 도포장치를 이달중으로 납품키로 한 데 이어 역시 박막 제조장비의 일종인 3백70x4백70㎜ 및 5백50×6백50㎜ 규격의 알루미늄 에칭장비도 각각 1대씩 오는 10월과 11월까지 양산라인에 설치키로 했다.

한국디엔에스는 특히 LCD 제작공정중에 기판을 일시 보관하는 카세트를 세정해주는 카세트세정기도 개발, 5백50×6백50㎜ 규격장비는 이미 2대를 납품했으며 국내 설비 중에서는 최대규격인 6백×7백20㎜ 장비도 조만간 공급할 예정으로 있다.

3.5세대 장비의 개발까지 끝낸 이회사의 카세트세정기는 카세트에 담겨있는 기판을 반송장치로부터 직접 처리장치로 옮겨놓고 작업을 하기 때문에 용기 및 장비의 소형화로 설치 공간을 크게 절약할 수 있는 게 장점이다.