[화요특집] TFT LCD 주요 장비업체 제품-한일초음파

5백50 x6백50mm규격 초음파세척기

초음파세척기 전문업체인 한일초음파(대표 김채진)는 LCD 제조시 기판의 오염물질이나 처리후 잔여물을 세척해주는 3세대 규격의 초음파세척기를 국산화하는 개가를 올렸다.

한일초음파의 세척기는 브러싱에 의한 기본적인 양면세척부터 초음파를 이용한 초정밀 세척까지 용도에 맞게 시스템을 구성할수 있도록 모듈방식으로 설계됐으며 비접촉식 세척으로 기판이나 박막의 손상을 최소화시켰다.

또 세척후 물의 표면장력을 이용해 탈수시키는 방식을 채용, 세척물을 완전 건조시켜주는 동시에 LCD의 불량원인이 될 수 있는 물자국을 남기지 않도록 했다.

정전기 발생의 주요 원인인 먼지나 오염물질 등이 기판 표면에 달라붙는 것을 방지하기 위해 이온화장치로 정전기를 사전에 제거하고 유기막 제거를 위해 자외선 광세정장치도 추가했다. 한일초음파는 앞으로 4세대 LCD 세척장비는 물론 플라즈마 디스플레이(PDP), 반도체용 세척시스템도 개발해 초음파 세척 장비사업을 다각화할 계획이다.