[화요특집] TFT LCD 주요 장비업체 제품-TEL코리아

6백50x8백30mm 규격의 코터&디벨로퍼

동경엘렉트론(TEL)코리아(대표 곽태균)는 LCD 제조에 사용되는 코터&디벨로퍼 장비분야에서 독보적인 기술과 위상을 자랑하고 있다. TEL코리아는 2세대 때부터 쌓아온 장비의 높은 신뢰성을 무기로 줄곧 이 분야에서 시장점유율 1위를 기록하고 있으며 3세대는 물론 현존하는 최대 크기의 장비인 6백50×8백30㎜ 규격까지 두루 갖추고 있다.

TEL코리아가 공급하는 코터&디벨로퍼는 코터와 디벨로퍼 장비를 하나의 시스템으로 통합시켜 작업의 효율성을 제고시켰으며 현상액의 사용을 크게 줄였으면서도 박막의 균일도를 높여 제조비용 절감과 함께 제품의 수율을 보장해준다.

또 고정밀의 반송로봇을 이용해 기판을 이동시켜줌으로써 기판의 이동에 수반되는 훼손을 예방해주고 노광장비와 인라인화도 가능, 공간을 크게 절약했다. 또한 이장비는 AGV나 CIM을 통한 공정자동화도 가능하도록 설계됐다.