[초점] VLSI리서치 「반도체장비업체 고객 만족도」 조사

VLSI리서치社가 최근 반도체장비업체에 대한 고객 만족도 조사를 통해 선정, 발표한 고객만족도 분야의 「97 10 BEST」에서 전공정 장비부문은 베리안社가, 테스트 및 재료 핸들링 장치부문에서는 인테그레이티드 메저먼트 시스템이, 그리고 공정 검사장비 부문에서는 HP가 각각 1위를 차지한 것으로 나타났다. 그러나 최근 반도체 공정 기술의 빠른 발전과 이에 따른 소자 업체들의 다양한 장비 사양 요구 등으로 인해 전반적인 고객 만족도는 지난해에 비해 상상 수준 낮아진 것으로 조사됐다.

미국의 반도체조사기관인 VLSI리서치는 세계 각국의 반도체업계 관계자 3만7천명을 대상으로 각부문별 프로세스지원, 소프트웨어 지원, 판매후 서비스 등 8개항목에 대한 만족도를 설문조사한 결과를 세미콘웨스트 전시장에서 발표했다.

이 조사에 따르면 반도체 전공정장비 부문에서는 베리안이 10점 만점에 8.06을 얻어 1위를 차지했으며 노벨러스,이튼,램리서치,어플라이드머티리얼즈,다이닛본스크린,SVG,캐논,TEL 등이 10위권에 들었다.

테스트 및 재료 핸들링장비 부문에서는 인테그레이티드 메저먼트 시스템이 8.36으로 작년에 이어 1위를 차지했고 HP,테러다인,일렉트로글라스,어드반테스트,안도,LTX,슐럼버제,TEL,도쿄세미추 등이 10대 업체로 선정됐다.

그리고 공정 검사장비 부문은 HP가 7.53으로 1위에 올랐고 KLA,ADE,루돌프 테크놀로지,히타치,오팔,텐코,서머웨이브 등이 톱 10에 랭크됐다. 또한 조립 및 특수장비부문에서는 알파셈社가 9.48점으로 1위를 차지했으며 ESEC,오소다인 일렉트로닉스,ESC,디스코,쿠리케&소파,F&K 디보틱 본드테크닉 등이 우수업체로 꼽혔다.

특히 이들 10대업체중 램리서치가 9년 연속 만족도 우수 업체로 선정됐으며 TEL은 테스트 및 재료 핸들링 장비 부문과 전공정 장비 부문에 동시 링크돼 주목을 끌었다. 또한 ASM 리소그래피社는 작년보다 무려 0.66 포인트가 오른 7.95의 점수를 얻어 올해 가장 빠른 만족도 신장업체로 선정됐으며 SVG는 올해 처음으로 우수 10대 업체에 포함됐다.

한편 이번 10대업체들의 평균점수는 조립 및 특수장비 부문이 평균 8.86으로 조사 대상 5개 부문중 가장 높은 점수를 받았고,전공정 장비 부문은 7.31로 지난해 비해 약간 상승한데 반해 테스트 및 재료 핸들링 장비 부문과 공장 검사장비 부문은 각각 7.39 및 7.05로 작년보다 낮은 점수를 기록했다.

<새너제이=김경묵 기자>