어플라이드코리아, 반도체용 전자 현미경 공급

어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 회로선폭 0.18미크론까지 계측가능한 반도체용 전자 현미경(CD-SEM) 「Opal 7830Si」를 국내에 공급한다.

어플라이드머티리얼스 미국본사가 CD-SEM 장비 전문업체인 오팔社를 인수하며 새롭게 선보인 이 제품은 리소그래피, 식각, 증착 등의 각종 반도체 제조과정 중 웨이퍼상에 작업된 미세회로선폭 및 콘텍트홀의 종횡비를 측정하는 반도체용 계측장비다.

특히 이 장비는 기존 CD-SEM 제품과는 달리 표면 회로선폭의 계측은 물론 최대 7대1 종횡비의 깊은 톤텍트홀까지 정확히 측정해냄으로써 점차 복잡해지는 고집적 반도체의 구조 바닥면 검사에 대응할 수 있으며 연속이동 및 고급 영상기술을 채택, 반도체 양산라인에서 실시간 운용이 가능하다.

회사측은 『이번에 출시된 「Opal 7830Si」는 0.18미크론의 미세회로선폭은 물론 2단 및 자기정렬 콘텍트 구조까지 계측하는 등 측정범위 및 활용성이 높아 단순한 계측장비라기보다는 반도체 제조공정용 필수 검사장비』라고 강조했다.

<주상돈 기자>