반도체장비업계, 웨트스테이션 개조·보수시장 군침

웨이퍼 세척장비인 웨트스테이션의 개조 및 보수가 반도체장비업체들의 새로운 사업영역으로 주목받고 있다.

10일 관련업계에 따르면 지난해 반도체장비 부품업체인 태양테크가 웨트스테이션 개, 보수 전문업체를 선언하며 이 분야에 대한 본격적인 영업에 착수한데 이어 대창하이테크, 우신쎄미텍, 선일테프론 등 반도체장비 부품 및 불소수지 전문업체들도 최근들어 본격 가세하고 있다.

반도체장비 가운데서도 특히 웨트스테이션의 개조 및 보수가 새로운 사업 영역으로 각광받고 있는 것은 장시간의 웨이퍼 세척이 요구되는 장비 특성상 케미컬 및 유독가스에 의한 세척 용기 및 소모 부품의 침식과 부식이 잦을 뿐만 아니라 웨이퍼 크기 혹은 세척 횟수에 따른 장비 재구성 및 업그레이드 요구 또한 상대적으로 많기 때문으로 풀이된다.

더욱이 이들 개, 보수 전문업체들은 작업에 필요한 대부분의 소모 부품을 국산 제품으로 사용함으로써 밸로우,벌브,세척 용기 등의 수지 부품은 물론 초음파 세정기,케미컬공급시스템 등 국산 모듈 제품의 새로운 수요처로 떠오르고 있어 주목된다.

장비 부품 전문업체인 태양테크는 기존의 테프론 부품 및 세척장비 제조기술을 바탕으로 웨트스테이션의 개조 및 보수물량 확보에 주력하는 한편 자체 장비 개발과 함께 개조 및 보수 가능한 장비 영역도 점차 확대해 나갈 방침이다.

지난해 이 시장에 참여한 대창하이테크는 웨트스테이션의 개조 및 보수에 필요한 컨트롤 설계,전기 배선,장비 조립 등의 부문별 전문인력을 갖추고 올해부터 이 시장에 대한 본격적인 영업에 착수한다.

불소수지 전문업체 우신쎄미텍도 그동안 웨이퍼 용기를 포함한 대부분의 웨트 장비 관련 부품을 자체 생산해온데 따른 장점을 살려 케미컬 공급 및 세척 시스템의 제작을 통한 웨트스테이션의 개조 및 보수 사업에 주력할 계획이다.

이러한 개조 및 보수 시장 확대와 관련 한 관계자는 『웨트스테이션 개조 및 보수가 경우에 따라서는 한건당 2억원을 넘는 것도 있어 결코 작지 않은 시장』이라고 밝히고 『반도체 경기의 불황이 계속될 경우 원가절감 차원에서 반도체 장비의 개조 및 보수에 대한 국내 소자업체들의 관심은 꾸준히 증가할 것이어서 향후 이 시장은 더욱 확대될 것』으로 전망했다.

<주상돈 기자>