재림엔지니어링, 고주파 고체 분석기 출시

반도체장비업체인 재림엔지니어링(대표 강원규)이 기존 DC 분석기를 대체하는 고주파 고체 분석기(RF-GD:Radio Frequency Glow Discharge)를 개발,본격 출시한다.

이 회사가 지난 3년간 공업기반기술 개발자금을 지원받아 개발한 이 장비는 기존의 직류(DC) 방식 대신 고주파의 열전도 및 반사 특성을 이용함으로써 각종 고체 재료의 성분 분석과 표면 균일도를 측정할 수 있는 첨단 산업용 고체 분석기다. 이 장비는 고주파를 이용,전기가 흐르지 않는 각종 부도체는 물론 세라믹 등 첨단 소재의 성분 분석도 가능하며 특히 PPB 수준 이하의 정밀 측정도 가능하다고 회사측은 밝혔다.

이 회사는 최근 대학 및 기업 연구소를 통해 분석기의 성능 시험을 완료한데 이어 본격적인 양산 준비에 착수,늦어도 하반기부터는 제품 생산에 들어갈 방침이다.

<주상돈 기자>