반도체 건조제 이소프로필알코올(IPA) 국내 생산 본격화

반도체 생산공정에서 한 공정이 끝난 웨이퍼를 다음 공정에 투입하기 위해 세정후 건조시키는 방식이 기존 스핀 건조에서 IPA 증기 건조(Vapor Dryer) 방식으로 급전환 됨에 따라 이에 사용되는 특수 화학약품인 이소프로필알코올(IPA)의 국내 생산도 본격화되고 있다.

22일 관련업계에 따르면 반도체 웨이퍼의 대구경화 및 회로 선폭의 미세화 추세에 따라 기존 스핀 드라이어 대신 IPA를 이용한 증기 드라이어가 웨이퍼 건조 장비의 주종으로 자리잡으면서 IPA약품의 국내 수요 역시 큰 폭으로 증가하고 있다. 이에 따라 이미 IPA를 생산, 공급 중인 동우반도체약품과 LG화학이 생산시설 확대를 추진중인데 이어 대기업 계열 화학업체인 H社와 반도체 약품 전문 업체인 C社도 하반기부터 IPA의 국내 생산을 적극 검토중인 것으로 알려졌다.

동우반도체약품은 전북 익산공장의 기존 IPA 생산 설비를 연간 3천톤에서 5천톤 규모로 확대할 방침이며,LG화학도 원료 공급에서 가공에 이르는 일괄 생산라인 구축을 통한 실질적인 생산량 확대를 추진중이다.

이와함께 국내 C社가 PPT 수준 이하의 초고순도 IPA 생산을 위한 대규모 설비 투자를 진행,하반기부터 본격적으로 제품을 공급할 방침이며 H화학도 이 시장 참여를 적극 검토중인 것으로 알려지고 있다.

이로써 이미 상당 수준 국산대체가 이루어진 과산화수소,황산 등에 이어 그동안 상대적으로 수입의존률이 높았던 IPA도 국내 생산이 확산될 조짐을 보임에 따라 국내 반도체 약품 시장의 국산 대체는 더욱 활성화될 전망이다.

IPA는 물보다 낮은 온도에서 증발하는 특성과 함께 친수성 및 미세 지역에 대한 침투성이 높아 이를 웨이퍼 건조 공정에 적용할 경우 장비를 웨이퍼 표면과 직접 접촉하지 않고 건조시킬 수 있어 기존 스핀 방식이 지녔던 정전기 및 얼룩 잔존으로 인한 불량 발생의 우려가 없는 특수 화학 약품이다.

<주상돈 기자>