메트론코리아, 웨이퍼 세척용 스폰지 브러쉬 공급

메트론 코리아(대표 최형남)가 미국 리페이社의 웨이퍼 세척용 스폰지 브러쉬를 공급한다. 폴리비닐알콜(PVA)이 주성분인 이 제품은 반도체 제조과정 중 감광수지 도포 및 현상,CVD,CMP 등의 각종 공정 후 웨이퍼에 붙어 있는 여러 불순물들을 세척하는데 사용되는 소모성 제품으로 연속적이면서도 균일한 기공 구조(Pore Structure)와 85∼95%의 일정한 스폰지 간극률(Porocity)을 통해 제품 강도 및 친수성을 높인 것이 특징이다.

또한 이 제품은 미세 물질 세척시에도 웨이퍼나 디스크 표면에 손상을 주지 않으며 흡수력과 보습력 또한 뛰어나 반도체 웨이퍼는 물론 하드 디스크와 각종 의료 및 광학기기용 장비에도 사용 가능하다고 이 회사는 밝혔다.

<주상돈 기자>