日 니콘, 캐논 엑시머 스테퍼 증산

일본 주요 스테퍼업체인 니콘과 캐논이 엑시머 스테퍼(축차이동식노광장치)의 생산을 크게 강화한다.

「日本經濟新聞」 최근 보도에 따르면 니콘은 올해 약 2백억엔을 투자해 사이다마현 구마다니사업소에 약 1만2천평방미터규모의 엑세머 스테퍼 생산공장을 새로 건설하고 내년 중 본격 양산에 들어갈 방침이다.

니콘은 우선 64M용을 중점 생산하고 2백56M용도 차후 양산할 계획이며 이를 통해 엑시머 스테퍼의 생산규모를 현재보다 약 1.5-2배 늘린다.

캐논은 도치기현 우쓰노미아공장의 64M용 엑시머 스테퍼 생산규모를 늘리는 한편 오는 5월부터 2백56M용 장치도 생산할 방침이다. 캐논도 니콘과 마찬가지로 2백64M용 장치의 생산규모는 수요동향에 맞춰 나갈 계획이며 반도체생산업체의 시제품 생산 라인용으로 첫해 60대를 판매한다는 목표를 세워 놓고 있다.

주력 D램이 16M에서 64M로 세대교체되면서 최근 엑시머 스테퍼의 수요가 크게 늘고 있다. 엑시머 스테퍼는 16M시대의 주력 기종이던 i선 스테퍼에 비해 파장이 매우 짧아 64M 이상급 반도체생산에 적합한 장치로 부각되고 있다.

<심규호 기자>