반도체장비업계, 국산 RF제너레이터 채택 확산

에처,CVD 등 각종 첨단 반도체 장비 개발에 필수적인 RF(Radio Frequency) 제너레이터 시장에서 국내 중소업체 제품이 빠르게 점유율을 넓혀가고 있어 주목된다.

반도체 장비업체인 영신엔지니어링(대표 서영철)은 자사가 지난해 개발한 전계효과 트랜지스터(MOSFET) 방식의 RF 제너레이터가 주성엔지니어링, 아펙스, 아토 등 국내 주요 CVD 및 에처 개발업체는 물론 현대전자, LG반도체 등 대기업에까지 공급되는 등 채용이 급속히 확산되고 있다고 6일 밝혔다.

영신은 이 RF 제너레이터를 미국 장비업체에 공급,현재 좋은 반응을 얻고 있으며 최근에는 중기거점개발사업 자금지원을 받아 대기업과 공동으로 추진해온 크기가 기존 제품의 3분의 1에 불과한 초소형 제너레이터도 개발,오는 6월부터 본격 양산할 예정이어서 국산 RF 제너레이터의 채용은 더욱 확대될 것으로 기대했다.

이 회사가 생산하는 RF 제너레이터는 CVD,에처,스퍼터 등 각종 전공정 장비에 부착돼 웨이퍼의 증착 및 식각 공정중 플라즈마 소스를 만들어주는 고주파 발생기로 진공 및 가스 시스템과 함께 반도체 장비 국산화에 있어 빼놓을 수 없는 핵심 모듈로 ENI, RF-PP, 어드밴스드에너지 등 미국 업체와 AD텍, 도쿠와, 일본고주파 등 일본업체들과 치열한 시장경쟁을 벌이고 있다.

지난해 개발된 최신 모델을 중심으로 그동안 2백대 이상의 국산 RF제너레이터를 공급해온 이 회사는 오는 6월 초소형 제품의 양산 돌입과 함께 국내 반도체 소자 및 장비업체는 물론 해외 시장 개척도 본격화할 방침이다.

서영철 사장은 『RF 제너레이터와 같은 모듈 제품들의 경우 관련 국산장비에의 채용 및 외산 중고장비의 교체 등으로 그 수요가 많을 뿐만 아니라 반도체 이외의 다른 전자 분야에 까지 응용 가능해 국산화에 따른 시장 파급 효과가 크다』고 강조했다.

<주상돈 기자>