한국베리안, 12인치 웨이퍼용 이온 주입기 공급

반도체장비업체인 한국베리안(대표 서성기)이 8인치는 물론 12인치 웨이퍼 공정에도 적용할 수 있는 이온 주입기 「SHC80」을 국내 공급한다.

평행 와이드 빔 주사 방식의 이 제품은 웨이퍼의 대구경화에 따른 공정상의 비효율과 일괄(Batch) 이온 주입에 의한 미립자 발생 및 금속 오염의 문제점을 해소한 것이 특징이다.

<주상돈 기자>