한국DNS, CMP 後세정장치 공급

한국DNS(대표 이광교)는 수중로드 및 양면 세정체임버를 탑재한 CMP 후세정장치 「SP-W813-AS」를 생산, 공급한다.

이 제품은 1.5의 초음파 진동과 純水를 이용해 CMP공정을 마친 웨이퍼를 세정하는 장비로 디스크 및 회전 브러시를 탑재, 웨이퍼의 이면과 표면을 순서에 따라 자동 세정할 수 있는 것이 특징이다.

또한 수중로드에 의한 자동이송으로 웨이퍼의 건조를 방지했으며 필요시 D-소닉 세정 유닛도 채용 가능하다.

<주상돈기자>