이튼, 이온 임플랜터 국내생산 7월부터 개시

세계적인 반도체장비업체인 이튼(EATON)이 이온 임플랜터의 국내생산을올 하반기부터 시작한다.

지난해부터 늘어나는 반도체3사의 수요에 대응해 국내생산을 적극 추진해온이튼사는 최근 총 6백만 달러를 들여 경기 송탄지역에 3천평 규모의 부지를마련, 연간 30대의 이온 임플랜터 생산능력을 갖춘 조립라인을 구축하고올7월부터 본격 생산에 들어갈 계획이라고 25일 밝혔다. 이튼이 국내에서 주력생산할 제품은 최근 국내 수요급증세가 두드러진 고에너지 제품으로 연내에시범적으로 5, 6대를 조립생산할 방침이다.

이온 임플랜터는 회로패턴과 연결된 부분에 불순물 원자이온을 미세한 가스입자 형태로 가속해 웨이퍼의 내부에 침투시켜 전자소자의 특성을 만들어주는 장비로 빔 전류의 강도에 따라 여러 종류로 나뉜다. 이에 따라 이온임플랜터의 국내 생산은 올해를 기점으로 베리안.AMK를 포함해 총 3개사로늘어나 핵심장비의 국내 생산이 한층 활기를 띨 것으로 보인다.

이튼은 당초 천안 외국인 전용공단에 입주할 예정이었으나 입주시기가 97년이후로 너무 늦는다는 점을 감안, 송탄으로 전격 결정한 것으로 알려졌다.

업계는 최근 종전과 달리 핵심공정장비의 국내생산이 늘고 있는 것은 외국업체들이 한국시장이 날로 커지고 있는데다 기술대응력이 우수해 아.태지역공급기지로 활용이 가능하다고 판단하고 있기 때문으로 풀이하고 있다.

<김경묵기자>