도시바, 집적도 높인 1GD램 메모리셀 개발

일본 도시바는 독자의 보틀형 트렌치구조를 채용, 캐퍼시터용량(집적도)을 종래 트렌치구조보다 1.3~1.5배 향상시킨 1GD램 메모리셀을 개발, 발표했다 고 최근 "일간공업신문" 등 외신이 보도했다.

또 이들 외신은 도시바가 이번 메모리셀의 개발에서 0.18CMOS 미크론가공 기술을 이용, 셀면적이 세계 최소인 0.28um⒁을 실현했다고 전했다. D램은 미세가공기술의 급진전으로 대용량화가 가능하지만 메모리셀을 안정동작시키기 위해선 데이터를 축적하는 집적도의 확보가 과제였다. 도시바는 현행 트 렌치구조로는 기가급 D램에서 충분한 집적도의 확보가 어렵다고 보고 이번에새로운 구조인 트렌치 보틀을 개발, 집적도를 종래보다 1.3~1.5배 향상시켰다. 도시바는 또 인접하는 셀에서 한개의 와드선을 공유케 해 메모리셀내에 1.

5개의와드선이 통과하는 독자의 메모리셀 배치방식을 채용, 셀면적을 종래 의75%로 축소하는데 성공했다. <신기성기자>