일 니콘, 64MD램 양산용 i선스테퍼 개발

일본의 니콘사는 64MD램을 양산할 수 있는 i선스테퍼(축차이동식로광장치) 를개발, 내년 1월부터 수주에 나선다고 "일본경제신문"이 최근 보도했다. 니콘이 새로 개발한 스테퍼(NSR 2205i12D)는 내년 양산개시되는 제1세대 64MD 램의 제조용으로 광원에는 파장이 3백65나노미터인 i선을 사용했다. 이 제품 은 22m 각의 넓은 노광범위로 0.35um이하의 고해상도를 실현했다. 또로봇 팔을 채용해 웨이퍼의 반송시간을 단축시켰으며 웨이퍼를 노광위치로 옮기는스테이지의 고속화 등으로 종전기종에 비해 단위시간당 처리능력이 10% 향상됐다. 8인치 웨이퍼환산으로 시간당 70장이상의 처리가 가능하다.

가격은 3억5천만엔 이상으로 예정하고 있으며 출하개시후 1년간 6백대 판매를 목표로 하고 있다. <신기성기자>