동우반도체약품, 64MD램용 가능 고순도 암모니아수 생산

동우반도체약품(대표 한의섭)이 64MD램용 이상 제품에도 사용 가능한 고순도암모니아수 양산에 나선다.

이 회사는 최근 합작선인 일스미토모사와 고순도 암모니아 제조기술 도입 계약을 맺고 내년 2.4분기부터 이 제품을 월 2백t씩 본격 생산키로 했다. 이를위해 다음달부터 40억원을 투자、 전북 익산에 신규 생산라인을 건설하는 한편 97년에는 2차 증설에 들어가 생산규모를 월 4백t 수준으로 끌어올릴 계획이다. 동우측은 이번에 생산할 암모니아수는 그동안 전량 일본에 의존해온 고순 도제품으로 16MD램은 물론 64 및 256MD램에도 대응이 가능해 양산에 따른 수입대체효과만도 연 3백만달러를 넘어설 것으로 예상했다.

고순도 암모니아수는 반도체 제조공정의 에칭및 세정공정에 필수적으로 사용되는 첨단약품으로 불순물을 거의 함유하지 않아 반도체의 품질과 수율을 올리는데 결정적인 역할을 하는 화학약품이며 그간 전량 일산을 수입、 사용해왔다. <김경묵 기자>