카스, 연구용반도체장비 선봬

(주)카스(대표 김동진)는 학교및 연구소의 연구용 반도체장비를 개발、 상품 화할 계획이다.

24일 관련업계에 따르면 전자저울및 센서생산업체인 카스는 최근 최소비용으로 반도체생산에 필요한 장비의 시판에 착수、 올해에 2~3대판매를 목표로 하고 있다.

카스가 이번에 개발에 성공한 반도체장비는 통칭 드라이시스템이라는 것으로열산화.열처리일반을 처리하는 전기로와 SiO⒁막을 형성하는 APCVD, poiy-S i, Si⒂N¹막을 형성하는 LPCVD로 구성됐다.

동사는 이밖에 마스크를 사용한 노광이 필요없는 E-빔리소크래피장치、 RF마 그넷스퍼터、 플라즈마에처 등 반도체생산에 필요한 기타장비부문도 금년중에 개발을 마치고 상품화할 계획이다.

카스의 한 관계자는 "이들 반도체장비를 대학및 연구소의 연구용으로 공급해 적은 유지비용으로 연구자들이 손쉽게 접근할 수 있게 하는데 주력하고 있다 고 설명했다. <주문정 기자>