지너스, 삼성전자 반도체장비 대량 납품

미국의 반도체장비업체인 지너스(Genus)사가 삼성전자(대표 김광호)에 1천8 백60만달러상당의 반도체장비를 공급한다.

지너스가 이번에 삼성전자에 공급하는 반도체장비는 "1510" 고에너지(MeV) 이온임플랜터와 최근 발표한 "7000" 텅스텐 실리사이드 클러스터 CVD 툴들이 주를 이루고 있다.

이들 이온 임플랜터와 CVD시스팀은 삼성전자의 기흥반도체공장 7라인에 투입 돼 16및 64MD램양산에 활용될 것으로 알려졌다. <이경동 기자>