일 NTI, 64MD램 시험생산

일본 고베제강소와 미국 텍사스 인스트루먼츠(TI)사의 합작반도체업체인 KTI 세미컨덕터가 64MD램의 시험생산에 착수할 계획이다.

일본 "일간공업신문"의 최근 보도에 따르면 KTI세미컨덕터는 니시와키공장내에 최첨단 로광장치를 도입、 이달말부터 시험생산에 들어갈 방침이다.

KTI가 도입하는 노광장치는 8인치웨이퍼에 회로선폭 0.3미크론의 미세가공을 할 수 있는 i선 스테퍼로 2대를 도입할 예정이다.

이와함께 동사는 주변기기일부를 재배치해 당분간 64MD램의 제1세대제품을시험생산하고 오는 97년부터는 양산에 착수할 방침이다.

동사는 현재 니시와키공장에서 16MD램을 중심으로 월평균 8인치웨이퍼 1만매 분량의 반도체를 생산하고 있다. 동사는 5백억엔을 투자、 건설하는 새공장 에 64MD램의 생산을 위한 생산라인을 정비해 월생산규모를 현재의 2.5배인 2만5천매로 늘릴 계획이다. <주문정 기자>