일 히타치, TFT액정기판 결함검출기술 확립

일본 히타치제작소는 적외선을 이용한 화면처리기술을 응용, TFT(박막트랜지 스터)액정기판상의 배선결함을 간단히 조사하는 기술을 확립했다고 일경산업신문 이 최근 보도했다.

이 기술은 배선결함이 있으면 그 부분의 온도가 0.5~1℃ 상승하는 점을 이용한 것으로 종래의 검사법으로는 가능하지 않은 결함을 발견할 수 있다. 지금까지는 숙련자가 눈으로 배선상의 결함을 검사해 왔다.

히타치가 개발한 이 기술은 액정패널의 화소를 구성하는 배선과 각 화소에설정되는 TFT LCD를 기판상에 배치할 때 그 정확도를 검사하는데 사용된다.

이번 기술의 개발로 TFT액정기판의 생산성을 향상시킬 수 있다. 히타치는 이 기술을 실제로 생산라인의 검사공정에 도입할 방침이다. <신기성 기자>