ASIC 제조용 "크러스터툴" 첫 개발

[대전]?0.35㎙급 정보통신용 주문형반도체(ASIC)를 제조하는데 필수적 장비 인 "클러스터 툴(Cluster Tool)"이 국내에서 처음 개발됐다.

한국전자통신 연구소(ETRI) 반도체연구단 공정장비연구부(부장 유형준)는 반도체 제조과정에서 웨이퍼 운송모듈을 공유하는 공정모듈의 집합체인 클러스터 툴"을 독자기술로 개발하는데 성공했다고 21일 밝혔다.

유형준 부장팀이 체신부 핵심기초연구사업의 하나로 18개월의 연구끝에 이번에 개발한 "클러스터 툴"은 공정모듈인 금속식각기(Metal Etcher) 와 PMC(Pr ocess Module), TMC(Transport Module Controller), CTC(Cluster Tool Cont roller)에 대한 제어소프트웨어 등으로 구성돼 있으며, 모듈간의 통신 및 기계적 접속의 경우 SEMI(반도체 장비제조협회)의 MESC(모듈. 장비제조의 표준 )규격을 준수함으로써 호환성을 높인 것이 특징이다.

특히 네트 워크로 이더네트를 사용함으로써 기존의 시리얼(직렬통신) 방식에 비해 데이터 전송속도가 크게 향상돼 데이터 입력주기를 기존의 3초이상에서 1초이내로 크게 단축시켰다.

이 장비는 또 현재 사용되고 있는 스탠드얼론 방식과는 달리 운송 모듈을 공유할 수 있어 클린룸의 소요면적을 줄여 유지비를 절감할 수 있으며 단위 공정 사이의 웨이퍼 운송이 진공속에서 이루어짐에 따라 자연산화막에 의한 소자특성의 열화를 방지할 수 있는 장점을 갖고 있다.

이밖에 이 장비는 공정모듈의 표준화를 통해 장비(Fabrication)의 유연성을 높일 수 있어 다품종 소량생산의 ASIC개발에 매우 적합한 장비로 평가 되고있다. 유부장은 "이번 클러스터 툴의 개발은 열악한 국내 ASIC산업을 활성화시키는 획기적인 전기가 될 것"이라며 "이 장비를 이달말 소내의 ASIC개발센터로 부 터 인증을 받아 우선 0.8㎙의 SOG(Sea of Gate)칩 제조에 활용 하는 한편 올해말까지 공정모듈 및 운송모듈 등을 추가 개발함으로써 다중 반응로의 클러 스터 기능이 완벽하게 구현된 모델을 개발할 계획"이라고 밝혔다.