첨단 기초과학장비.이온현미경 첫 개발

반도체와 마이크로 로봇 등 첨단기기 개발에 있어 빼놓을 수 없는 핵심 장비 인 "이온현미경"이 국내 연구진에 의해 처음으로 개발됐다.

광운대물리학과 강승언교수 연구팀은 21일 기존의 전자 현미경 기능에 미세 가공기능을 결합, 반도체 가공과 분석, 마이크로 로봇 등의 미세가공, 의료 기관의 정밀측정 등에 사용할 수 있는 첨단 기초과학장비인 "이온현미경" 개발에 성공했다고 밝혔다.

"집속이온광장치"(FIB)로도 불리는 이온 현미경은 0.1mm 두께의 머리카락에 1백개의 구멍을 뚫고 한글 10자를 새길 수 있을 정도로 미세가공이 가능한것으로 알려져 있다.

지난88년부터 6년동안 총 8억여원(학교지원 6억, 상공부 지원 2억)의 예산 을 투입, 개발에 성공한 이온현미경은 80년대 중반 일본과 미국 등 선진국에 서 처음 개발돼 현재 전세계에 3백여대만이 보급돼 있으며 대당 가격은 1백 50만달러이다. 업계에서는 전량을 수입에 의존하고 있는 이온현미경의 국내 연간수요 (현재 9대도입)가 20대인 점을 감안할 경우, 내년부터 본격적인 생산체제를 갖추게되면 연간 2백여억원의 수입대체 효과를 거둘 수 있을 것으로 보고있다.

이와함께"기가(10억분의 1) D-램급"을 비롯한 차세대 반도체산업 등 관련산업의 기술증진에 기여하는 동시에 각종 첨단 분석장비의 국산화 에도 커다란 파급효과를 미칠 것으로 기대된다.

이번개발작업에 참여해온 광운대 조광섭교수(40)는 "첨단 전자 기술과 기계 가공기술에 컴퓨터 공학기술까지 가미된 이온현미경을 순전히 우리기술로 개발할 수 있었던 것은 전자현미경 제작기술도 없는 국내 여건에 비추어 볼 때 획기적인 일"이라고 평가하고 "이를 계기로 각종 기초 첨단장비의 국산화 노력이 가속화되길 기대한다"고 말했다.