일니콘, 반도체로광신기술 개발

일본 니콘사는 21세기 반도체제조용 광학로광 적용의 길을 열어 줄 만큼 획기적 초해상도기술인 "NOLMEX법"을 개발했다.

니콘이이번에 개발한 신기술은 이론제안의 단계이지만 비선형 광학레지스트 를 사용, 2회의 노광실시로 종전 해상한계의 절반수치에서 구워붙일 수 있다이 기술은 종래 위상 시프트 등 초해상기술에서도 극복할 수 없었던 광학적 해상한계를 극복한 것으로 광원파장을 절반으로 한 것과 같은 효과를 낼 수있다. 이 기술이 실용화되면 반도체산업에서 현재 운용되는 광학노광을 활용할 수있을 뿐 아니라 X선노광등 각종 차세대프로젝트에 기여할 것으로 보인다.