[반도체 라이징 스타]<8>코스모크, 차세대 메모리·센서 비파괴 분석…“제조라인 장비 개발 속도”

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코스모크의 자기광학 MOKE 기반 반도체 비파괴 검사 솔루션(사진=코스모크)

코스모크는 메모리·센서 제조 공정에 필요한 자성 박막 특성을 비파괴 분석하는 기업이다. 한양대 ERICA 로봇공학과 조교수이자 한양대 융합산업대학원 제조인공지능학과 주임교수인 장범진 대표가 지난 2023년 창업한 딥테크 스타트업이다.

코스모크는 자기광학 MOKE(Magneto-Optical Kerr Effect)를 기반으로 M램·MR 센서·스핀트로닉스 반도체 등 차세대 메모리·센서 분석 수요를 공략하고 있다.

기존 반도체 계측은 박막 두께나 표면 결함 분석에 집중해 왔다. 코스모크는 소자 성능과 수율에 직접 영향을 미치는 자성 특성을 빠르게 측정·분석하는 기술을 개발하고 있다. M램 등 자성 소자는 자성 자성 세기·방향·균일성이 쓰기 전류, 데이터 보존, 오류율 등 핵심 성능을 좌우한다.

코스모크는 특히 반도체 제조라인 안에서 자성 박막 이상 여부를 실시간으로 확인할 수 있는 인라인 비파괴 분석 솔루션을 목표로 기술을 개발, 차별화 전략을 취하고 있다.

코스모크는 고객사 검증을 통해 기술력을 인정받은 연구용 모델 'COSMOKE RESEARCH' 핵심 기술을 제조 인라인 장비로 확장하며, 제조라인용 모델 COSMOKE SEMI 사업화 기반을 구체화했다.

COSMOKE SEMI는 M램 및 MR 센서 공정에 적용 가능한 인라인 비파괴 자성특성 분석할 수 있다. 회사는 전자기장 발생장치와 광학 모듈, 고성능 스테이지, 인라인 환경에 최적화된 웨이퍼이송모듈(EFEM)·공기여과송풍장치(FFU), 인공지능(AI) 기반 분석·보정 소프트웨어를 하나의 시스템으로 통합하는 방향으로 개발하고 있다.

올해 COSMOKE SEMI 핵심 구성 요소인 자기장 발생장치와 광학 모듈 개발이 본격화한다. 코스모크는 반도체 인라인 설비 전문가들과의 협력으로, 제조라인 적용에 필요한 장비 기능 고도화를 추진하고 있다. 이를 통해 연구용 분석장비를 넘어 생산 현장에 적용 가능한 고속·고신뢰성 반도체 인라인 분석 솔루션으로 확장할 계획이다.

장 대표는 “자성 소자를 비파괴 분석할 수 있는 제조 라인용 장비가 시장에 충분하지 않다”며 “연구용 장비에서 확보한 핵심 기술을 실제 생산 현장에 적용 가능한 제조 인라인 장비로 완성해 차세대 반도체 제조공정 수율 향상에 기여하고, 글로벌 인라인 분석장비 시장에서 경쟁력을 갖춘 기업으로 성장하겠다”고 밝혔다.

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※[반도체 라이징 스타] 시리즈는 중소벤처기업부와 창업진흥원이 지원하는 '2026년 초격차 스타트업 프로젝트 (DIPS)' 프로젝트의 일환으로 서울대학교 시스템반도체산업진흥센터와 함께 진행합니다.


권동준 기자 djkwon@etnews.com

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