AP시스템이 유기발광다이오드(OLED) 양산 공정에 아직 적용되지 않은 차세대 장비 개발을 통해 디스플레이 장비 사업 확대를 추진한다. 신규 장비가 실제 양산 공정에 적용될 경우 디스플레이 장비 부문의 새로운 성장 동력이 될 전망이다.
6일 업계에 따르면 AP시스템은 디스플레이 신규 장비 라인업으로 플라즈마 원자층증착(PEALD) 장비와 모듈 광학투명접착레진(OCR) 잉크젯 프린터를 개발, 완성도를 높이고 있다.
ALD는 원자 수준 정밀도로 얇게 증착할 수 있는 기술이다. 반도체 분야에서는 상용화됐지만, 디스플레이 분야는 아직 활용이 미미하다.
AP시스템은 그동안 ALD 장비 개발을 이어왔지만, 디스플레이 양산 공정 적용은 아직 이뤄지지 않았다. 그런데 최근 차세대 OLED TFT 기술로 고이동도 산화물(HMO)이 부상하면서 전자 이동도를 한층 높일 수 있는 ALD의 활용 가능성이 커지고 있다. AP시스템은 이를 신규 장비 사업 확대의 기회로 보고 있는 것으로 풀이된다.
HMO는 디스플레이 구동 회로인 TFT 기술 중 하나로, 기존 옥사이드 TFT 대비 전자 이동성을 강화한 게 핵심이다. 현재 스마트폰 대세 기술인 저온다결정실리콘산화물(LTPO) 대비 저전력 특성을 가지면서도 옥사이드 TFT의 성능을 끌어올리는 것이어서 LTPO 대체 기술로 주목받고 있다.
AP시스템 관계자는 “ALD 기술을 적용하면 기존 스퍼터 장비 대비 전자 이동도를 끌어올려서 고해상도 대응이 가능한 OLED 패널을 구현할 수 있다”고 설명했다.
디스플레이 모듈 공정에서는 OCR 잉크젯 프린터를 차세대 장비로 준비하고 있다. 현재 OLED 모듈 합착에는 필름 형태의 광학투명접착필름(OCA)이 주로 쓰인다. OCR은 액체 형태의 레진을 필요한 영역에 분사해 여러 층을 합착하는 방식으로, 재료비와 공정 부담을 낮출 수 있는 기술로 평가된다.
OCR 잉크젯 설비도 실제 OLED 양산에 아직 적용되지 않은 차세대 기술이다. 회사는 지속적으로 적용 가능성을 모색하며 시장을 두드리고 있다.
AP시스템 디스플레이 장비 주력은 레이저리프트오프(LLO), 엑시머레이저어닐링(ELA), 후공정용 라미네이션 장비 등이다. LLO는 플렉시블 OLED 핵심 장비이며, ELA는 저온다결정실리콘(LTPS)·LTPO 구현을 위해 필수적인 장비다. 라미네이션 장비는 모듈 공정에서 필름을 합착하는 기술이다.
김영호 기자 lloydmind@etnews.com
