머신비전 이미징 솔루션 전문 기업 앤비젼은 3D 반도체검사솔루션 '고케이터(Gocator)4000' 시리즈를 공개했다.
이 시리즈는 독자 무손실 압축 기술과 데이터 처리 최적화를 통해 스캔 속도를 기존 20㎑에서 36㎑로 향상시켜 생산성을 크게 높였다.
또 0.1㎛ 수준의 높은 반복 정밀도와 최대 36㎑의 고속 스캔을 지원해 10㎛ 이하 마이크로 범프에서도 초미세 결함까지 검출할 수 있다. 이를 통해 반도체, HBM 등 정밀한 부품 검사 환경에서 탁월한 성능을 발휘한다.
고성능 Enhanced Surface Flatness필터를 탑재해 거친 표면에서 발생하는 난반사를 효과적으로 억제하고 스페이셜노이즈를 최소화해 안정적이고 깨끗한 3D 데이터를 확보할 수 있다.
새롭게 추가된 Anomaly Detector 기능은 복잡한 임계값 설정 없이도 생산 라인에서 AI 모델을 직접 학습·실행할 수 있다. 이를 통해 비정상 데이터를 자동으로 구분하고 놓치기 쉬운 미세 3D 결함까지 검출 가능하다.
권상희 기자 shkwon@etnews.com
