업계 최초 유지보수 로봇
생산성·수율 개선 효과
램리서치는 반도체 업계 최초로 웨이퍼 제조 장비의 유지 보수 작업을 위한 협동 로봇 '덱스트로'를 출시했다고 10일(미국시간) 밝혔다.
덱스트로는 서브미크론(1㎛ 미만) 정밀도를 요구하는 중요한 유지 보수작업을 반복적으로 실시하도록 설계됐다. 인간의 한계를 넘어선 정밀도와 반복 작업으로 장비 가동 시간을 늘리고 제조 수율을 향상한다. 현재 램리서치 '플렉스 G', 'H 시리즈' 유전체 식각 장비를 지원하고 있으며, 장비 지원 범위를 확장할 계획이다.
램리서치는 삼성전자를 비롯한 주요 고객사의 웨이퍼 팹에 덱스트로를 공급했다. 정밀한 유지보수로 장비 비가동 시간(다운타임)과 생산 변동성을 최소화하는 한편, 최초 작업 성공(FTR) 결과를 통해 수율을 개선하고 있다고 전했다.
김영주 삼성전자 상무 겸 메모리 에치기술팀장은 “반도체 제조 장비에 유지보수가 필요한 경우, 장비 가동 중단 시간을 줄이고 비용 낭비를 방지하기 위해 신속하고 효율적으로 작업해야 한다”며 “덱스트로의 오류 없는 유지 보수는 공정 변동성과 수율 개선에 기여한다”고 말했다.
박준홍 램리서치코리아 한국법인 총괄 대표는 “고객의 수율 개선 및 생산성 극대화는 우리에게 늘 가장 중요한 화두”라며 “덱스트로는 효율성과 생산성을 극대화해 고객 사업 목표를 달성하는 데 기여할 것으로 기대한다”고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
