[넥스트 반도체 핵심 '경기기업'⑦]씨엔원, 효자 기술 반도체 전공정 장비 'ALD'로 세계 시장 선도

경기도는 대한민국 반도체 산업의 핵심 거점으로, 혁신과 기술의 중심 역할을 톡톡히 해내고 있다. 도내에는 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 시장을 선도하는 대기업뿐만 아니라, 독창적인 기술력과 경쟁력을 갖춘 다양한 중소기업도 위치해 반도체 산업의 생태계를 구축하고 있다. 이를 위해 경기도는 앞서 2020년부터 2022년까지 3년간 300억원을 차세대융합기술연구원(융기원)에 투입해 소재·부품·장비(소부장)산업 기술 독립을 목표로 추진한 소부장 자립화 연구지원사업의 성과가 나타나는 등 '경기도형 소부장 자립화의 성공모델'을 창출해 지속가능한 지원체계를 만들어가고 있다. 경기도와 융기원이 추진한 소부장 수요연계형 연구지원과제 지원에는 그동안 41개 산·학·연 수행기관이 참여해 논문 47건, 특허 58건 등 원천기술을 통한 기술경쟁력을 확보했다. 경기도와 융기원은 2023년부터 반도체 3대 공급망 취약 분야인 반도체 소부장, 차세대 반도체, 시스템 반도체 부문에 대한 기술개발 지원을 소부장 수요연계형 연구지원과제에 이어 계속 추진하고 있으며, 소부장 수요연계형 연구지원과제의 주요성과에 대해서도 지속적인 모니터링을 하고 있다. 또 경기도와 융기원은 후속사업으로 테스트베드 활용 반도체 기술개발사업을 통해 도내 반도체 소부장 기업의 기술개발 지원 및 분석·평가 지원을 위한 '경기도 반도체 기술센터'를 올해 7월 초에 개소했다. 전자신문은 소부장 수요연계형 연구지원과제를 수행한 주요 기업들이 어떻게 반도체 산업의 발전을 견인하고 있고, 국내외 시장에서 어떤 성과를 거두고 있는지 만나본다.

정재학 씨엔원 대표.

글로벌 반도체 장비업체 씨엔원(대표 정재학)은 반도체 전공정 장비 원자층박막증착(ALD)에 대한 지속적인 연구개발(R&D)로 국내외에서 기술력을 인정받고 있다.

ALD는 균일하고 순도 높은 박막을 저온에서 얻기 위해 개발된 반도체 공정 핵심 기술이다. 반도체 기억소자인 축전기(capacitor), 트랜지스터(transistor) 등 형성공정에 중요한 역할을 한다.

씨엔원은 현재 반도체 분야 중심으로 ALD를 활용하고 있지만 앞으로 디스플레이, 에너지, 바이오 등 새로운 첨단 분야 적용을 위해 지속적인 R&D를 수행하고 있다.

씨엔원은 다른 기업 제품과 차별점으로 다양한 기술특허와 고객만족 서비스를 강점으로 꼽았다. 씨엔원은 기본적인 원리를 배경으로 하는 써멀 및 플라즈마 강화(PE) ALD 장비의 기술특허와 파우더 ALD 특허를 보유하고 있다.

또 고객사의 요구사항에 맞춰 주문 제작 ALD 장비의 설계부터 제작, 공정 제공까지 가능하며, 고객사 문제 발생시 엔지니어가 온라인 대응부터 현장 방문까지 신속하게 대응하는 등 고객사의 만족도가 높은 것으로 나타났다.

이에 미국 반도체 장비 제조업체인 어플라이드 머티리얼즈와 프랑스 에어리퀴드 등의 연구소로 씨엔원 ALD 장비가 수출되고 있으며, 지속적인 재주문이 잇따르고 있다. 중국의 유기발광다이오드(OLED) 마이크로 디스플레이에 사용될 봉지막 ALD 박막을 양산해 적용 중에 있으며, 국내외 이차전지 소재인 양극재 및 음극재 코팅 관련 기업에 파우더 ALD 코팅 장비를 납품하고 있다.

이와 함께 씨엔원은 ALD 관련 국책과제를 통해 많은 성과를 올리고 있다. 국책과제를 통해 개발한 장비는 △이차전지 분야 대용량 양산형 ALD 코팅 장비 △OLED 마이크로 디스플레이 봉지막 코팅을 위한 12인치 대면적 미니배치 ALD △컴팩트한 크기의 탁상형 ALD 코팅 장비 등이다. 기판 손상을 최소화하기 위한 초고주파(VHF) PE-ALD 장비 및 페로브스카이트용 전자 및 정공 수송층 ALD 박막도 개발 중이다.

씨엔원 전경

이같은 성과로 씨엔원은 △경기도 유망중소기업 △수출유망중소기업 △경기도 스타기업 △글로벌 강소기업 등에 선정됐다.

코로나19 이후에는 매출이 점차 상승해 2022년 76억원, 2023년 109억원, 올해 상반기 지난해 매출액을 뛰어넘은 상태다.

현재 미국과 일본, 싱가포르, 대만, 러시아, 인도, 중국 및 국내 선도적 대학과 연구소, 기업 등에서 씨엔원 장비를 활용하고 있다. 현재까지 280대 이상의 장비를 국내외에 공급해왔으며 국내 ALD 연구장비 분야 점유율은 40%에 달한다.

정재학 대표는 “지속적인 수출 증대로 2023년 200만달러 수출의 탑을 수상했고, 올해에는 500만달러 수출의탑 수상을 기대하고 있다”며 “지속적인 ALD에 대한 연구개발을 통해 바이오, 디스플레이 등 첨단산업 분야로 사업 영역을 확장해 ALD 기술 시장을 선도해 나가겠다”고 말했다.

화성=김동성 기자 estar@etnews.com