펨트론이 웨이퍼 표면 검사 장비를 국산화한다. 외산이 사실상 독점하던 시장에 국내 기술로 개발한 장비가 진입할 것으로 기대된다. 펨트론은 기존 표면실장기술(SMT)과 패키징 검사를 주력으로 하던 반도체 장비사로, 웨이퍼 단까지 사업 영역을 확장할 계획이다.
펜트론은 웨이퍼 표면검사 장비 '8800wi'을 개발하고 국내 외주 반도체패키징및테스트(OSAT) 기업과 성능 평가 단계를 밟고 있다. 시료 등 공정 과정에서 발생하는 각종 변경에도 양산이 가능한 것을 확인하는 단계로 현재 막바지 절차인 것으로 전해진다. 평가 통과 시 이르면 4분기께는 장비 공급을 개시할 수 있을 것으로 전망된다.
펨트론이 개발한 웨이퍼 표면 검사 장비는 외산 의존도가 높은 장비다. 지금까지 이스라엘 장비사가 시장 공급을 주도해왔다. 펨트론 장비가 양산되면 국산 장비가 본격적으로 웨이퍼 표면 검사 시장에 진입할 계기가 될 것으로 분석된다.
해당 장비는 웨이퍼 회로를 그린 후 개별 칩 형태(다이)로 절단(쏘잉)하는 전후 과정에 활용된다. 웨이퍼 절단 형태나 웨이퍼 표면의 결함을 검사한다. 웨이퍼 들뜸이나 조각남, 이물 및 변색 등을 최종 패키징 직전에 파악, 반도체 공정 수율을 극대화할 수 있는 장비다.
또 반도체 패키징에 필요한 마이크로 범프 이상 여부도 확인할 수 있다. 마이크로 범프는 반도체 다이와 패키징 기판 혹은 인쇄회로기판(PCB)를 전기적으로 연결할 때 쓰는 필수 부품이다.
펨트론은 특수 광학계를 적용, 3차원(3D) 이미지 형성이 어려운 물질의 3D 검사도 가능하게 했다. 측정 범위는 5~400마이크로미터(㎛) 수준으로, 외산 대비 최소 계측 크기를 더욱 줄였다. 검출이 어려웠던 이물이나 결함을 쉽게 찾아낼 수 있다는 의미다. 장비에 최적화된 소프트웨어(SW)를 통해, 고객 맞춤형 기능을 다수 제공할 수 있다.
초당 이미지 취득 속도도 매우 빨라 공정 시간을 단축 시키는 것도 강점이다. 해당 장비는 8인치와 12인치 웨이퍼 모두 검사할 수 있다.
펨트론은 기존 와이어 본딩, 패키징 외관, 메모리 모듈 및 SMT 검사 장비에 초점을 맞췄다. 반도체 공정의 가장 끝단에 해당하는 영역으로, 신규 장비 개발로 사업 영역을 웨이퍼 검사 단계까지 확장하게 됐다. 유영웅 펨트론 대표는 “신규 장비를 앞세워 제품 포트폴리오를 다변화하고 신성장동력을 지속 확보할 계획”이라며 “내년에는 웨이퍼 표면 검사 장비 시장에서도 본격적인 매출 확대가 예상된다”고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
