원자 단위의 움직임을 포착해 반도체 활용도 높이는 기술 개발

2D 반도체 나노입자의 상전이 과정 관찰 및 메커니즘 규명

대구경북과학기술원(DGIST·총장 국양)은 양지웅 에너지공학과 교수팀이 박정원 서울대 화학생물공학부 교수와 공동으로 '실시간 투과전자현미경 분석법을 이용해 반도체 양자 나노 결정의 상전이 메커니즘'을 규명했다고 15일 밝혔다.

연구팀은 상전이 과정에서 일어나는 다양한 반응경로를 원자 수준에서 밝혀내면서 온도 및 조성(물질계를 구성하는 여러 성분의 양의 비)으로 제어하는 방안을 제시했다. 기술이 상용화되면 메모리 디바이스, 센서 등 분야에서 디바이스 효율이 향상될 것으로 기대하고 있다.

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양지웅 DGIST에너지공학과 교수, 마현종 석박통합과정생, 박정원 서울대 화학생물공학부 교수, 김동준 박사과정생

구조 물질의 고유 성질을 제어할 수 있는 상전이를 통한 결정상 제어는 메모리 디바이스, 센서, LED와 같은 미세 반도체 구조가 중요한 분야에서 활용하기 좋은 방법이다. 새로운 합성법을 통해 원하는 성질을 갖는 물질을 만드는 방법보다 잘 알려진 합성법으로 물질을 만든 후 상전이를 통해 물질의 성질을 필요에 따라 제어해 활용하는 것이 효율적이기 때문이다. 최근에는 상전이를 이용해 반도체 나노결정의 성질을 바꾸는 기술이 활발하게 연구되고 있다.

나노입자의 상전이 메커니즘은 X선 회절 분석법, 분광분석법 등에 대한 평균적인 정보를 활용한 연구가 대부분이다. 하지만 상전이를 정확하게 제어하고 활용하기 위해서는 원자단위의 매커니즘을 정확하게 이해할 수 있어야 한다.

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상전이 과정에서 관찰된 역동적인 현상들에 대한 이미지

연구팀은 실시간 투과 전자현미경 분석법(TEM)과 밀도 범함수 이론(DFT) 계산 방법을 이용해 새로운 상전이 매커니즘을 개발했다. 이를 이용해 양자점 나노결정 대표 물질인 카드뮴 셀레나이드(CdSe)의 상전이 메커니즘을 원자 수준에서 규명하고, 반응과정에서 일어나는 중간체의 형성·원자 배열 변화를 정밀하게 밝혔다.

특히 전자빔을 이용해 높은 공간 해상도에서 선택적으로 상전이를 유도할 수 있다는 가능성을 제시했다. 나아가 온도·조성·상전이의 상관관계를 밝혀 이전의 방법보다 더욱 정밀하게 상전이를 제어할 수 있음을 확인했다.

양지웅 교수는 “반도체 양자 나노결정의 상전이 과정을 원자 수준에서 관찰하면서 다양한 반응과정과 그 중간물을 확인하고, 온도·조성·상전이 간 상관관계를 통해 양자 나노결정의 결정상 제어법을 밝혀낼 수 있었다”고 밝혔다. 박정원 서울대 교수는 “반도체 나노 물질의 외부 자극에 의한 구조변화 과정을 정밀하게 규명할 수 있었는데, 향후 반도체 물질의 구조제어를 활용해 다양한 디바이스에 응용되기를 기대한다”고 말했다.

삼성미래기술육성센터 사업을 통해 수행된 이번 연구결과는 재료과학분야 저명 국제학술지인 '어드벤스드 사이언스'에 게재됐다.

대구=정재훈기자 jhoon@etnews.com