KLA는 차량용 반도체 안정성과 수율을 향상시킬 수 있는 장비 4종을 24일 발표했다.
KLA 신제품 라인은 △고생산성 패턴 웨이퍼 검사 시스템(8935) △광대역 플라즈마 패턴 웨이퍼 검사 시스템(C205) △비 패턴 웨이퍼 검사 시스템(Surfscan SP A2/A3) △인라인 결함 부품 평균 테스트 선별 솔루션(I-PAT)으로 구성됐다.
최근 전기차와 첨단운전자보조시스템(ADAS), 자율 주행 시장이 확대되면서 차량용 반도체 수요도 급증했다. 차량용 반도체는 자동차 안전의 핵심 요소인 만큼 엄격한 품질 관리가 필요하다. KLA는 신제품을 통해 차량용 반도체 신뢰성을 확보하고 수율도 높일 것으로 기대했다.
8935 패턴 웨이퍼 검사기는 양산 과정에 새로운 광학기술과 인공지능(AI) 솔루션을 활용, 다양한 중대 결함을 검출할 수 있다. 반도체 칩 품질에 영향을 주는 이상 상태를 빠르게 파악할 수 있다. C205 패턴 검사기는 광대역 입사광과 나노포인트 기술로 결함을 검출, 공정과 소자 최적화 속도를 높일 수 있다. Surfscan SP 비 패턴 웨이퍼 검사 시스템은 심자외선(DUV) 광학 기술과 알고리즘을 통합해 차량용 반도체 신뢰성에 문제를 일으킬 공정 결함을 식별한다. I-PAT는 웨이퍼에서 수집된 데이터를 기계 학습 알고리즘 및 결함 관리 시스템으로 분석, 불량 반도체를 공급망에서 제거할 수 있다.
아흐매드 칸 KLA 반도체 공정제어사업부 사장은 “최신 차량은 주변을 감지하고 운전 결정을 내리고 행동을 제어하는 수천개 반도체 칩을 포함하기 때문에 절대 장애가 발생하면 안된다”면서 “신제품은 반도체 공장에서 고품질·고신뢰성 반도체 칩을 높은 수율로 생산하는데 일조할 것”이라고 밝혔다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
