손재성 UNIST 교수팀
신축성 내구성 우수한 무기 반도체 박막 개발
패치형 헬스모니터링 기기, 접을 수 있는 디스플레이 등에는 유연 반도체를 써야 한다.
국내 연구진이 고온고압 공정을 잘 견디고 내구성도 좋은 무기물 기반 유연 반도체 제조기술을 개발했다.
UNIST(총장 이용훈)는 손재성·최문기·김주영 신소재공학과 교수팀이 황화은(Ag2S) 무기반도체 박막을 저렴한 용액공정으로 합성하는 데 성공했다고 17일 밝혔다.
손 교수팀은 합성 박막으로 제작한 저항 변화 메모리소자(RRAM, 알램)를 파킨슨병 환자 모니터링 장치에 적용해 성능도 입증했다.
황화은 무기반도체 박막은 반도체 특성을 띤 신축성이 우수한 소자다. 기존 무기반도체 소자는 쉽게 부서지지만 황화은 소자는 연신 변형률이 우수해 잘 부서지지 않는다. 저렴한 저온 용액공정으로 제조할 수 있어 상업화에 유리하다.
손 교수팀은 이를 이용해 세계 처음으로 '신축성을 지닌 박막형 황화은 기반 저항메모리 반도체'를 개발했다. 이 반도체 소자는 높은 온-오프 전류비 차이와 내구성을 보여 패치형 헬스모니터링 기기 개발에 적합하다.
이번 연구는 '어드밴스드 머티리얼스' 4월 30일자 온라인판에 실렸다.
울산=임동식기자 dslim@etnews.com