국내 강소기업이 반도체 생산 공정에 필요한 물 사용량을 90%까지 절감할 수 있는 장비를 개발했다. 글로벌 반도체 산업계 이슈로 부각된 '물 부족' 문제를 해결할 솔루션으로 업계의 비상한 관심을 모으고 있다.
영진아이엔디(대표 배근한)는 반도체 생산 용수 사용량을 획기적으로 줄여주는 장비 'YPS-04U(YoungjinIND Plasma Scrubber-04U)' 개발을 완료했다고 3일 밝혔다.
열 플라즈마 스크러버(Thermal Plasma Scrubber)는 반도체와 LCD제조공정에서 사용되는 폭발성·부식성·독성가스뿐만 아니라, 온실가스이자 가장 강력한 결합에너지를 보유한 PFCs계 가스를 열 플라즈마를 이용해 손쉽게 분해·처리하는 시스템이다.
이 같은 기능을 가진 YPS-04U는 3년간의 개발 기간을 거쳐 반도체 생산에 소요되는 용수(NPW, CW) 사용량을 획기적으로 저감하는데 성공했다. 지난달부터 양산에 돌입했다.
회사 측은 “물 사용을 줄이는 환경정책에 동참하고자 물 사용량과 폐수 발생을 줄일 수 있는 장비를 개발했다”며 “현재 기존 양산 중인 자사 제품을 테스트한 결과 물 사용량을 기존 대비 90% 이상 줄이는 데 성공했다”고 설명했다. 물 관련 운영비도 64% 감소한 것으로 나타났다.
적용기술은 유해가스 제거에 사용된 열에너지를 간접냉각 방식으로 낮추고 내부 온도와 연동해 물 사용량을 저감시키는 프로그램을 적용했다. 이를 통해 물 사용량을 극적으로 줄일 수 있다는 설명이다.
반도체 생산 공정에서 물은 필수불가결한 요소다. 주로 세정, 냉각 용도로 이용된다. 실제로 평택 S사의 경우 현재 가동되는 공장에서 일평균 22만톤의 공업용수를 사용하고 있다. 공사 중인 공장에서는 공업용수 25만톤을 추가로 요청하고 있다. 세계 1위 파운더리 생산업체 대만 T사에서도 물과 관련된 문제를 안고 있다. 국내 S사가 위치한 미국의 공장에서도 물을 확보하기 위해 고민 중이다.
YPS-04U는 높은 분해 처리효율뿐만 아니라 장비 크기도 대폭 줄였다. 장비 크기는 공간 집적화를 통해 기존에 비해 30% 이상 축소했다. 이 밖에 현장 자가진단 기능을 추가해 신속한 현장 대응과 반출입 물류비를 줄일 수 있다.
회사 측은 “RE100(그린뉴딜 정책), 미세먼지 국가프로젝트 등 시장과 기술의 성장에 유연하게 대처하기 위해 중장기 사업계획을 수립했다”며 “이를 토대로 현재 생산시설 신축·확충, 연구시설 신축·확충, 우수인력 확보 및 유지 방안에 대한 프로그램 구축, 사업의 다양성 확보 작업을 진행 중”이라고 설명했다.
1999년 설립된 영진아이엔디는 우수 연구진과 독보적 기술력을 바탕으로 세계 최초 플라즈마 스크러버 상용화에 성공했으며 지난 19년에는 은탑산업훈장을 수여했다. SK하이닉스반도체, 매그나칩, 동부하이텍 등 국내는 물론 중국 SMIC, CSMC 등 해외유명 반도체 기업에 이를 공급하고 있다. 축적된 기술력을 바탕으로 반도체 장비 분야에서 우위를 차지할 핵심 기술인 최첨단, 초정밀, 초소형 장비 기술개발에도 나서고 있다.
윤대원기자 yun1972@etnews.com
