플렉시블 유기발광다이오드(OLED)용 레이저리프트오프(LLO) 장비 시장에서 엑시머 레이저가 시장 재탈환에 시동을 걸었다. 2016년과 2017년에 걸쳐 후발주자인 다이오드펌핑고체레이저(DPSS) 방식이 시장을 상당 부분 점유, 엑시머 시장이 쇠퇴했다. 하지만 올해 가격을 낮추고 성능을 높인 신제품으로 반격한다.
7일 업계에 따르면 엑시머 방식 레이저 소스를 공급하는 코히런트가 AP시스템과 손잡고 새로운 방식의 LLO 장비를 개발하고 있다. 필옵틱스의 DPSS 방식 LLO에 맞서 기존 엑시머 레이저의 강점은 살리되 가격 부담을 낮춰 시장 재탈환을 노린다.
코히런트가 공급하는 엑시머 레이저는 저온다결정실리콘(LTPS)을 형성하거나 플렉시블 OLED 기판으로 사용하는 폴리이미드(PI) 필름을 유리기판에서 떼어낼 때 필요한 핵심 장비다. 플렉시블 OLED 패널 주요 공정 중 하나인 레이저결정화(ELA) 단계에도 쓰인다.
엑시머 레이저는 LTPS와 ELA 공정에서 독보적 입지를 갖췄다. 삼성디스플레이가 6세대 플렉시블 OLED를 초기 양산할 때부터 엑시머 레이저를 사용해 사실상 LLO 시장을 독점해왔다.
DPSS 방식 LLO는 삼성디스플레이가 A3 라인에 집중 투자한 2016년과 2017년에 걸쳐 점유율이 높아졌다. 국내 장비기업 필옵틱스가 독일 트럼프의 DPSS 레이저 소스를 적용한 LLO 장비를 삼성디스플레이 A3 라인에 공급하며 위협적으로 성장했다.
코히런트는 최근 기존 LLO 장비의 라인빔(LineBeam)보다 가격을 무려 30~40% 낮추고 성능을 높인 새로운 LLO 전용 장비 'UV블레이드 1000'을 개발했다.
UV블레이드 1000은 유리에서 필름기판을 떼어내는 과정에서 필요할 때만 레이저 펄스가 발생하는 '펄스 온 디맨드(Pulse on Demand)' 방식을 채택했다. 필요한 순간에만 레이저를 발생시키므로 실제 공정에 필요한 시간의 40% 정도만 레이저를 사용한다. 레이저 사용량이 감소해 생산 비용이 줄어든다.
기존 ELA 장비에서 사용한 레이저 튜브를 LLO 장비에 적용할 수 있는 플렉스 튜브도 강점으로 내세웠다. LLO 공정에서 필요한 레이저 양이 ELA 공정의 절반 수준에 그치므로 기존 ELA 공정에서 사용한 레이저 튜브를 LLO에 적용하면 남은 수명에 따라 1년 이상 사용할 수 있다.
최근 코히런트는 새로운 LLO용 엑시머 레이저 장비를 삼성디스플레이를 비롯한 디스플레이 제조사에 소개하며 시장 진입을 준비하고 있다.
코히런트코리아 관계자는 “엑시머 레이저의 기술 강점에 파격적인 가격 경쟁력까지 더한 만큼 국내외 시장에서 좋은 반응을 기대한다”고 말했다.
배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com
