국내 연구진이 빛에너지를 이용해 산소 화합물로 된 아주 얇은 절연막 소자를 단 5분 만에 제작할 수 있는 기술을 개발했다.
이 연구는 윤명한 광주과학기술원 교수와 박성규 중앙대 교수가 주도했다.
연구팀은 세계 최초로 극자외선을 이용한 라디칼(radical) 형성 반응을 활용했다. 라디칼은 비공유 홀전자를 갖고 큰 반응성을 갖는 화학종을 말한다. 오존보다 2000배, 태양 자외선보다 180배나 빠른 산화속도를 갖고 있다.
연구팀은 코팅된 졸겔(sol-gel) 필름으로 극자외선을 조사해 고밀도 박막을 낮은 온도에서(150도) 5분 안에 만들어 냈다.
박성규 교수는 “고온 열처리 없이는 제작이 불가능했던 고성능 산화물 소재를 저온에서 빠른 시간 안에 제작할 수 있는 것을 보여준 성과”라며 “웨어러블 전자기기와 대면적 디스플레이 구현에 기여할 것”으로 기대했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
