관련 통계자료 다운로드 반도체 공정 관리 시장 추이(단위:백만달러) 해외 기업이 주도하는 반도체 계측·검사 장비 시장에서 국내 업계의 입지를 넓히기 위해 연구개발(R&D) 지원을 강화해야 한다는 목소리가 높다. 공정 미세화로 계측·검사의 중요성이 높아지는 것에 대응하는 노력을 서둘러야 한다는 지적이다.
한국산업기술평가관리원과 한국반도체연구조합은 17일 경기도 판교 한국반도체산업협회회관에서 ‘제1회 MI(Metrology & Inspection) 포럼’을 열고 국내 반도체 계측·검사 장비 경쟁력 강화 방안을 논의했다. 반도체 계측·검사는 공정 미세화와 다양화 추세 등에 따라 세계 장비 업체 간 시장 경쟁이 치열한 분야다.
이날 발표 자료에 따르면 노광기 계측, 웨이퍼 검사 등을 포함한 세계 반도체 공정 컨트롤 시장은 올해 58억490만달러 규모로 전년 대비 20% 가까이 늘어날 전망이다.
현재 시장은 대부분 외국 기업이 장악하고 있다. 노광 계측과 웨이퍼 검사 시장은 KLA-텐코·히타치하이테크·AMAT 등 세 회사가 80~90%를 차지했다. 마스크 계측 시장은 KLA-텐코가 거의 독점하는 양상이다.
한국 시장도 예외는 아니다. 연 8000억원 규모로 추산되는 반도체 계측·검사 장비 시장 대부분을 외국 기업이 주도하고 있다. 몇몇 기업이 일부 장비를 국산화했지만 아직은 전체 시장에서 차지하는 비율이 높지 않다.
안기현 한국반도체산업협회 연구개발지원본부장은 “반도체 계측·검사 장비 수요가 지속적으로 증가하고 있지만 여전히 외산 의존도가 높다”며 “국내 장비 업계의 계측·검사 기술 경쟁력을 높이는 방안을 마련해야 한다”고 강조했다.
다행히 정부도 관심을 갖는 상황이다. 산업통상자원부는 지난 2월 2단계 미래 반도체 소자 개발 사업을 시작하면서 차세대 광학 모듈 기술 과제를 포함시켰다. 반도체 소재 박막을 0.1㎚ 정확도로 측정하는 기술 개발이 목적이다. 반도체협회와 반도체연구조합도 첫 MI포럼 개최를 시작으로 계측·검사 세미나 등을 지속적으로 열어 관심 확산을 유도할 계획이다.
국내 계측·검사장비 업체 오로스테크놀러지의 이형일 전무는 “국내 산업계는 계측·검사 관련 기술 기반과 경험이 부족한 게 현실”이라며 “정부와 제조·수요 기업 등이 함께 다양한 산학연 협력 사업을 전개해야 한다”고 말했다.
<단위:백만달러/ ※자료:제1회 MI포럼(한국반도체산업협회)>
이호준기자 newlevel@etnews.com
