지니아텍(대표 김덕재)은 2009년 설립한 벤처기업이다. 광교테크노밸리 내 경기R&DB센터에 둥지를 틀고 있다. 지난해 하반기 경기기술개발사업에 참여해 `대면적 인라인 그래핀 패터닝을 위한 고효율 대기압 플라즈마 에칭 시스템 개발` 과제를 수행했다.
그래핀은 탄소로 만든 전도성 필름이다. 주로 플렉시블 디스플레이에 코팅해 사용한다. 개발 과제는 그래핀 필름 에칭 효율을 높이고 원하는 패터닝을 할 수 있도록 전극과 지그 시스템을 개발하는 것으로 수행했다.
지니아텍은 사이즈가 600×500㎜ 이상인 대면적 그래핀을 에칭하기 위해 방전폭이 650×40㎜에 이르는 고효율 플라즈마 전극을 개발했다. 전극은 플라즈마 토출부가 6개 이상인 멀티 슬릿으로 만들고, 대면적 그래핀 필름을 고정할 수 있는 마그네틱 홀딩 지그도 함께 제작했다.
이렇게 개발한 대기압 플라즈마 에칭 시스템은 고유전체를 적용해 방전 전압을 낮추고, 방전 효율을 향상시켜 에칭 효과가 높게 나타났다. Y타입 멀티 홀 구조를 적용해 방전 효율을 높인 것이 주효했다.
개발한 기술 가운데 하이브리드 라디칼 플라즈마 그래핀 에칭장치는 국내 특허등록을 마쳤다. 해외 특허도 출원했다. 자성체를 이용한 플라즈마 식각장치 특허도 출원중이다.
개발한 대기압 플라즈마 시스템은 디스플레이 부품업체인 피터니아에 터치패널 강화글라스 패터닝 효과 증진을 위한 용도로 공급하는 성과도 올렸다.
이 제품은 디스플레이 세정 장비로도 사용할 수 있는 등 활용범위가 넓어 다양한 용도로 판매 가능하다. 중국 LCD 업체에 LCD와 AMOLED 등 디스플레이 클리닝 용도로 수출하는 방안도 추진 중이다.
김덕재 지니아텍 사장은 “최근 무기물까지 동시에 제거할 수 있는 기술을 추가로 개발해 제품을 업그레이드 하는 등 활용범위를 넓혀가고 있다”며 “올해 한 업체에서만 30억원 정도 매출이 발생한데 이어 내년에는 200억에서 300억원 규모로 매출이 성장할 것으로 기대하고 있다”고 밝혔다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com
