`8세대(2200×2500㎜) 노광장비 국산화 눈앞에`
한국디스플레이연구조합은 `디지털 노광장비 핵심기술개발 과제`의 최종 진도점검 워크숍을 11일 제주도 서귀포 KAL호텔에서 개최한다.
노광기는 디스플레이 제조 핵심 장비지만 전량 일본에 의존해 왔다. 산업통상자원부가 지원하고 디스플레이연구조합이 노광기 기술 개발 과제를 주관했다. 특히 이 과제를 활용해 산학 및 대중소 기업 외에도 삼성과 LG 간 대대 협력도 이뤄졌다.
정부와 민간은 노광기를 국산화하고자 지난 2008년 12월부터 2013년 9월까지 5년여간 총410억원(정부 출연 212억원, 민간 198억원)을 투입해 개발했다. 선행 기업 특허 회피를 위해 마스크가 필요 없는 디지털 방식으로 개발해 왔다.
이 과제는 총 2단계로 추진됐다. 2011년 9월까지 2세대(370×470㎜) 디지털 노광장비를 개발한 후 오는 9월까지 8세대 노광기 개발을 완료하고자 박차를 가하고 있다.
이번 워크숍은 `제2회 차세대 리소그래피 학술대회`와 공동으로 개최된다.
문보경기자 okmun@etnews.com
