OCI머티리얼즈는 독자 개발한 고순도 다이실란(Si2H6) 제조공정기술이 지식경제부 기술표준원으로부터 신기술(NET) 인증을 받았다고 19일 밝혔다.
OCI머티리얼즈의 다이실란 제조공정기술은 모노실란(SiH4)의 열분해 반응을 이용한다. 다이실란은 반도체 제조 시 증착용 가스로 사용된다.
OCI머티리얼즈 관계자는 “다이실란 수입 대체 효과로 국내 반도체 산업 발전에 기여할 것”이라며 “이번 신기술 인증 획득으로 기술력을 다시 한번 입증 받았다”고 말했다.
유선일기자 ysi@etnews.com
