마이다스시스템(대표 이곤철)이 UV LED 광원 노광 모듈을 탑재한 수동 마스크 얼라이너를 출시했다.
이 제품은 LED 광원을 이용해 빛을 조사하는 수은 램프의 안정성이 뛰어나다. 기존 UV 램프는 점등 후 안정화를 위해 일정 시간이 필요했지만 LED 모듈은 안정화 시간이 필요 없다.
또 365㎚ I-라인의 단파장만 방출돼 리소그라피 공정에서 고해상도의 패턴을 형성시킬 수 있다. 기존 수은 램프는 브로드밴드로 350-450㎚ 영역이 방출돼 I라인의 단파장만 구현하려면 필터를 장착시켜야 하는 번거로움이 있었다.
LED 광원은 반영구적이라 수은 램프 유지 보수 비용이 크게 절감된다. 장비 규격이 가로 세로 높이가 각각 1m를 넘지 않아 어느 곳에나 편리하게 설치할 수 있다
제품 가격은 외산 장비에 비해 80% 가량 크게 낮췄다.
이곤철 회장은 “연구소나 기업 연구소 등을 타깃으로 마케팅을 본격화할 계획”이라고 말했다.
대전=신선미기자 smshin@etnews.com
