올해로 3차년도를 맞이한 반도체 장비·재료 성능평가사업 품목이 전년보다 6개 증가한 22개로 늘어났다.
19일 지식경제부와 한국반도체산업협회는 올해 진행하는 `반도체 장비·재료 성능평가사업`을 위해 22개 품목과 20개 업체를 최종 확정했다고 밝혔다. 지난 2009년과 2010년에는 각각 13개 품목, 지난해에는 16개 품목이 선정된 바 있다.
올해 사업대상 중 국산화 우선 품목과 기술 완성도 등을 고려한 9개 품목은 정부 과제로 지원된다. 나머지 13개 품목은 민관과제로 이원화해 삼성전자·하이닉스·동부하이텍 등 3개사 생산라인에서 생산수율과 신뢰성 등 성능평가가 진행될 예정이다.
이 사업은 지난 2009년까지 민간자금을 활용해 운영되다 2010년부터 정부가 일부 자금을 지원한다. 장비는 5억원 이내, 재료와 부분품은 1억원 이내 평가 비용을 지원하고 있다. 2010년에는 5건, 지난해에는 8건의 국산화 최우선 품목에 정부예산을 지원했다.
지경부 관계자는 “지난해까지 성능평가사업을 통한 국산화 효과는 약 8300억원에 달하며 향후 계속 확대될 것으로 전망된다”며 “올해 3차년도 사업을 완료하고 차기사업은 반도체 장비와 재료뿐만 아니라 부분품 기업이 많이 참여할 수 있도록 문호를 넓혀 국산화율을 높이는데 집중할 계획”이라고 말했다.
2012년 반도체 장비·재료 성능평가사업 최종 선정 품목 현황
(자료 : 지식경제부)
서동규기자 dkseo@etnews.com
