다이니폰스크린이 세계 최고 성능의 실리콘 웨이퍼 세정장치 ‘SS-3200’을 개발했다고 니혼게이자이가 30일 보도했다.
SS-3200은 웨이퍼 가공 과정에서 생긴 불순물을 씻어내는 장비다. 세정 능력은 시간당 800장이다. 기존 제품보다 2배나 크다. 세계 최고 수준이라고 알려진 도쿄일렉트론 세정 장비의 500장보다 60% 정도 향상됐다.
현재 가장 세밀한 20나노 공정에서도 사용 가능하다. 이 회사는 10나노까지 지원하는 제품을 개발할 계획이다. 소비 전력은 구형 제품과 같다. 가격은 사양에 따라 다르지만 대개 2억엔(약 29억3000만원)이다.
다이니폰스크린은 이 제품을 12월부터 공급할 예정이다. 이미 한국과 대만 반도체 업체와 공급 계약을 맺었다. 연간 100대를 판매해 웨이퍼 세정장비 시장 세계 1위에 오른다는 목표도 함께 세웠다.
장동준기자 djjang@etnews.com
