국내 연구진이 새로운 형태의 선형전동기(리니어 모터)를 개발했다.
한국전기연구원(KERI, 원장 김호용) 정시욱 박사팀은 기존 영구자석 선형전동기에 비해 훨씬 저렴한 비용으로 제작이 가능한 ‘자속역전 선형전동기(Flux Reversal Linear Motor, 사진)’를 개발하는데 성공했다고 21일 밝혔다.
선형전동기는 반도체, 디스플레이 제조 설비에서 마이크로미터(㎛)급 정밀위치제어(1㎛=0.001㎜) 및 운반용으로 사용하는 장비다. 현재 영구자석식을 주로 사용하고 있다.
영구자석 선형전동기는 고가의 희토류 영구자석을 사용하기 때문에 제작 비용이 높아 경제성의 한계를 안고 있었다.
정 박사팀이 개발한 자속역전 선형전동기는 소량의 영구자석을 전동기내 이동자에만 부착하고 고정자에는 사용하지 않는 형태다. 따라서 동일한 이송거리를 기준으로 할 때, 기존 선형전동기 대비 20분의 1에서 많게는 수백분의 1까지 영구자석 사용량을 절감할 수 있다.
속도 변동폭과 발열률이 낮고, 금속성 분진에 강한 특성까지 갖춰 반도체, 디스플레이 등 제조IT산업 분야의 원가 절감에 크게 기여할 것으로 예상된다.
정 박사팀은 자속역전 선형전동기과 관련해 3건의 특허 등록과 2건에 대해 특허 출원중이다. 정 박사팀은 향후 관련 업계에 기술이전 등을 통한 실용화에 나설 계획이다.
정시욱 박사는 “선형전동기는 정밀기기 산업을 비롯한 반도체, 디스플레이 및 검사 장비는 물론 다른 응용분야로 활용 폭이 넓어지고 있다”며 “대형화 추세에 있는 선형전동기 응용시스템의 가격을 낮추는데 기여할 것으로 기대한다”고 말했다.
<용어설명>
선형전동기(Linear Motor) : 반도체 및 디스플레이 공정 등 직선 이동이 필요한 제조 시스템에서 사용하는 장비다. 구조가 간단하고 손실이나 소음이 발생하지 않아 반도체 등 IT산업은 물론 공장자동화, 물류시스템용 이송장치, 차세대 엘리베이터, 모노레일, 계측장비, 의료기기 등의 분야에 폭넓게 적용되고 있다.
창원=임동식기자 dslim@etnews.com
