니콘이 6세대 기판에서 중소형 LCD 패널을 만들 수 있는 노광기를 개발했다고 닛케이산업신문이 15일 보도했다. 디스플레이 산업이 전반적으로 부진한 가운데 그나마 수요가 늘어나는 중소형 LCD 생산 효율이 크게 높아질 것으로 기대된다.
니콘이 개발한 노광기 신제품은 6세대 기판(1500×1800㎜)을 지원한다. 대형 LCD는 이미 8세대에 접어들었지만 스마트폰에 쓰이는 중소형 LCD는 5세대 기판에 머물러 있다. 작은 면적에 복잡한 회로를 그릴 수 있는 노광기가 없었기 때문이다.
니콘의 신제품은 보다 정밀한 회로 인쇄가 가능한 저온폴리실리콘 기판을 지원해 이 문제를 해결했다. 기존 노광기가 그릴 수 있는 회로 폭은 3마이크로미터 수준인데 니콘의 신제품은 2마이크로미터까지 줄였다.
디스플레이 업체들은 내년 초부터 5.5세대 기판(1300×1500㎜)에서 중소형 LCD를 생산할 예정이다. 6세대 중소형 LCD 패널은 내년 말 이후에 가능할 전망이다. 6세대는 5.5세대에 비해 기판 1장에서 만들 수 있는 중소형 LCD 패널 수가 30% 이상 늘어난다.
장동준기자 djjang@etnews.com
