반도체 계측검사 장비 전문업체인 오로스테크놀로지는 광학 오버레이(overlay) 측정 장비를 삼성전자와 하이닉스에 공급했다고 15일 밝혔다.
이번에 공급된 장비는 지난 4월 개발을 완료한 ‘오로스 OL-300n’으로 현재 삼성전자와 하이닉스 양산라인에 적용하기 위한 최종 평가를 받고 있다.
광학 오버레이 측정 장비는 반도체 공정에서 전기신호를 전달하기 위해 여러층으로 쌓는 패턴이 제대로 정렬됐는지를 측정하는 역할을 수행한다. 패턴을 한 장 쌓을 때마다 오버레이를 통해 나노 단위로 오차를 파악, 패턴 위에서 빛을 쪼여주는 노광기(스테퍼)의 위치를 보정하게 된다.
오버레이 장비는 미국 반도체장비 업체인 KLA텐코가 전 세계 시장을 독점 공급해왔다. 오로스테크놀로지는 지난 4월 처음으로 국산화에 성공했다. 삼성전자와 하이닉스에 공급이 이뤄지면서 국내는 물론 해외시장 진출 가능성이 높아졌다.
오로스 OL-300n은 LED 램프를 처음으로 적용, 장비 램프 수명을 2개월에서 3년으로 늘렸으며 패턴 이미지 해상도도 타사 장비에 비해 향상시킨 것이 특징이다.
박태훈 오로스테크놀로지 사장은 “이 장비는 반입 전 사전 기초평가에서 세계 최고 수준의 정밀성을 나타냈으며 자체 영상처리 알고리즘으로 측정 결과도 우수한 평가를 받았다”고 말했다.
이번 공급과 함께 국내에서 처음 개발한 EUV 광원도 오는 12월께 삼성전자에 납품할 예정이다. EUV 광원은 지난 6월 한양대학교 EUV연구소에 공급했으며 다음달에는 미국 버클리EUV 연구소에 납품할 계획이다.
서동규기자 dkseo@etnews.com
