관련 통계자료 다운로드 나노소자특화팹센터 비전 나노소자특화팹센터(KANC·원장 고철기)는 국내 화합물반도체 시설로는 최대 규모의 팹(Fab)을 구비하고 있다.
이 가운데 나노리소패턴실은 ‘클래스1’의 청정도를 자랑하는 청정실이다. 3500㎡ 규모의 공간에 200여대의 장비가 구축돼 있다. ‘클래스1’은 1입방 피트(30㎤) 공간에 약 0.5마이크로미터(머리카락 평균 직경의 200분의 1) 크기의 먼지가 1개 들어 있는 수준이다. 먼지가 거의 없다고 보면 된다. 교육과학기술부는 ‘나노팹 시설 활용지원사업’을 통해 대학 연구자들의 장비 사용료 70%를 지원해 준다. 중소기업청도 ‘연구장비 공동이용클러스터 사업’으로 사용료의 60%를 지원한다.
나노소자특화팹센터의 비전은 △생산·연구 지원 △전문인력 양성 △기술정보 지원 등을 통해 세계 수준의 나노기술을 보유, 동북아 나노기술 허브로 도약하는 것이다. 센터는 이를 위해 향후 5년 이내에 LED·태양전지·융복합소자·전자소자 등 녹색성장 및 차세대반도체 산업의 핵심기술 개발에 특화된 팹활용 지원체계를 구축, 원천기술 개발부터 시제품 생산까지 원스톱으로 지원할 계획이다. 이를 위해 팹서비스 수요조사 등을 통한 이용자 중심의 팹서비스를 제공하고, 국가 연구과제 공동참여를 통해 연구지원 서비스 영역을 확대할 방침이다. 서비스 영역 다변화로 센터의 활용도도 높여나갈 생각이다. 또 센터의 주력분야인 화합물반도체 중심의 신성장산업의 발전을 유도하고, 태양전지와 LED 등 나노관련 산업의 고부가화를 추진, 국가 나노기술을 선도하는 나노연구개발의 메카로 자리매김해 나갈 비전을 갖고 있다.
하지만 이 같은 비전을 달성하기 위해선 극복해야 할 과제도 적지 않다. 우선 센터의 비전 달성하기 위해선 정부의 지속적인 재정지원이 필요하다는 것이 안팎의 지적이다. 이는 센터가 국내의 유일한 공공 화합물반도체 인프라 시설 기관이기 때문이다. 내로라하는 청정실 등을 운영하기 위해서는 적지 않은 유지보수비가 들어간다. 시간이 지남에 따라 감가상각도 발생한다. 열악한 중소·벤처기업들에 사용료로 이 같은 비용까지 반영하기는 무리다. 지금도 일부 기업은 팹서비스 이용료가 비싸다며 부담스러워 하고 있는 실정이다.
박경호 특성평가실장은 “삼성전자와 하이닉스 등 대기업을 제외하고는 이만한 시설을 갖춘 기업이 거의 없어 중소업체들의 제작과 검사요청이 잇따르고 있다”면서도 “최근 LED와 태양전지 관련 팹서비스 수요가 증가하면서 연구개발 장비를 더 구축해야 한다는 이용자들의 요구가 많다”고 전했다. LED 시제품을 생산하기 위한 마지막 단계인 후공정 라인과 태양전지 기술의 핵심인 에피웨이퍼를 성장시키기 위한 MOCVD, 원자층 증착 장비와 그래핀 성장장비 등 다양한 나노기술 관련 장비가 필요하다는 것이다.
이희철 KAIST 교수는 얼마 전 실시한 간담회에서 “나노팹은 최소한의 운영경비를 정부가 지원해야 하는 공공인프라”라며 “설립 초기부터 재정자립도를 높이라고 하는데 이는 자칫 수익사업에 매몰되게 하는 문제를 낳을 수 있다”고 지적한 바 있다. 이 교수는 “국내 팹센터의 경우 벨기에 아이맥(IMEC)과 같은 해외 팹에 비해 장비가 부족해 기술역량을 쌓기 힘들다”면서 “70% 이상이 반도체와 IT분야인 나노기술 시장을 고려하면 경쟁력 있는 대형 나노팹이 있어야 한다”고 덧붙였다.
수원=김순기기자 soonkkim@etnews.co.kr
